• 對比傳統OPC設備,能測試更加微小的奈米顆粒
• STPC3可測試”顆粒前趨物”(可溶性非揮發殘留等)和”原生顆粒物”。
• STPC3可監控UPW品質和稀釋溶劑及符合pH值要求的酸鹼化學品。 (IPA、H2O2、氨水、鹽酸)
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